Substrate holding device and method of manufacturing drive ring

WO2019187814 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019187814
Aktenzeichen: EP19776973
Anmeldetag: 20. Februar 2019
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/32H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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