Partition Valve

WO2019188650 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019188650
Aktenzeichen: EP19774981
Anmeldetag: 20. März 2019
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F16K3/10F16K3/18F16K51/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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