Curable composition for imprinting, release agent, cured object, pattern formation method, and lithography method

WO2019188882 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019188882
Aktenzeichen
EP19778314
Anmeldetag
25. März 2019
Veröffentlichung
3. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C08F2/46B29C59/02C08F22/10C08F283/06C09K3/00H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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