Charged particle device, measurement system, and method for irradiating charged particle beam

WO2019189360 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019189360
Aktenzeichen: EP19777919
Anmeldetag: 27. März 2019
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/16H01J37/18H01J37/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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