Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on rate of pressure decay

WO2019190656 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019190656
Aktenzeichen: EP19776664
Anmeldetag: 20. Februar 2019
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G01F25/00G01F1/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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