Spatial modulation of a light beam

WO2019192841 Art A1 10. Oktober 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019192841
Aktenzeichen
EP19712964
Anmeldetag
20. März 2019
Veröffentlichung
10. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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