Electron microscope device, inspection system using electron microscope device, and inspection method using electron microscope device

WO2019194304 Art A1 10. Oktober 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019194304
Aktenzeichen: EP19781391
Anmeldetag: 5. April 2019
Veröffentlichung: 10. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00H01J37/22H01J37/244H01J37/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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