Electrostatic chucks with coolant gas zones and corresponding groove and monopolar electrostatic clamping electrode patterns

WO2019194812 Art A1 10. Oktober 2019

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019194812
Aktenzeichen: EP18913837
Anmeldetag: 5. April 2018
Veröffentlichung: 10. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von