Mems Coriolis Gas Flow Controller

WO2019195292 Art A1 10. Oktober 2019

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019195292
Aktenzeichen: EP19781088
Anmeldetag: 2. April 2019
Veröffentlichung: 10. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01F1/48G01F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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