Methods for conformal doping of three dimensional structures
WO2019195809
Art A1
10. Oktober 2019
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019195809
- Aktenzeichen
- EP19781262
- Anmeldetag
- 5. April 2019
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L29/66H01L29/78H01L29/732H01L21/324H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- APPLIED MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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