Methods for conformal doping of three dimensional structures

WO2019195809 Art A1 10. Oktober 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019195809
Aktenzeichen
EP19781262
Anmeldetag
5. April 2019
Veröffentlichung
10. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/66H01L29/78H01L29/732H01L21/324H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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