Double-sided polishing device for workpiece

WO2019198343 Art A1 17. Oktober 2019

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019198343
Aktenzeichen
EP19785871
Anmeldetag
18. Februar 2019
Veröffentlichung
17. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/013B24B37/08B24B49/12H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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