Silicon nitride film etching composition and etching method using same

WO2019198935 Art A1 17. Oktober 2019

Anmelder: SAMSUNG SDI CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019198935
Aktenzeichen: EP19785906
Anmeldetag: 12. März 2019
Veröffentlichung: 17. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C09K13/06H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SAMSUNG SDI CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Samsung SDI

Südkoreanisches Unternehmen der Samsung-Gruppe, das Batterien und Energiespeichersysteme für Elektrofahrzeuge, Elektronikgeräte und stationäre Anwendungen entwickelt und produziert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von