Dual-Mode Autonomous Guided Vehicle

WO2019199856 Art A1 17. Oktober 2019

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019199856
Aktenzeichen: EP19784414
Anmeldetag: 9. April 2019
Veröffentlichung: 17. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G05D1/02G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von