Optical Metrology in Machine Learning To Characterize Features

WO2019200015 Art A1 17. Oktober 2019

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019200015
Aktenzeichen: EP19785206
Anmeldetag: 10. April 2019
Veröffentlichung: 17. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/201G01N23/04G01N21/21G01B15/04G03F7/20G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von