Stiction-aided fabrication of flat nanomembranes for microelectronics applications

WO2019200028 Art A1 17. Oktober 2019

Anmelder: WISYS TECHNOLOGY FOUNDATION, INC., WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019200028
Aktenzeichen: EP19785084
Anmeldetag: 11. April 2019
Veröffentlichung: 17. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/06H01L21/768

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Anmelder

Firmen: WISYS TECHNOLOGY FOUNDATION, INC.
WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wisconsin Alumni Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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