Pixel shape and section shape selection for large active area high speed detector

WO2019201544 Art A1 24. Oktober 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019201544
Aktenzeichen: EP19712990
Anmeldetag: 21. März 2019
Veröffentlichung: 24. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244H01L27/146

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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