Micro device transfer method and transfer apparatus, and electronic product using same

WO2019203531 Art A1 24. Oktober 2019

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019203531
Aktenzeichen
EP19788239
Anmeldetag
16. April 2019
Veröffentlichung
24. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/52H01L21/67H01L27/15
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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