Methods of treating a substrate to form a layer thereon for application in selective deposition processes

WO2019204121 Art A1 24. Oktober 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019204121
Aktenzeichen
EP19788906
Anmeldetag
11. April 2019
Veröffentlichung
24. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/324H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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