Method for determining impingement conditions for charged particle beam device and charged particle beam device

WO2019207668 Art A1 31. Oktober 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019207668
Aktenzeichen: EP18915858
Anmeldetag: 25. April 2018
Veröffentlichung: 31. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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