Pump device

WO2019207839 Art A1 31. Oktober 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019207839
Aktenzeichen: EP18916876
Anmeldetag: 19. Dezember 2018
Veröffentlichung: 31. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F04C25/02F04C18/16F04C29/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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