C-containing sputtering target and method for producing same

WO2019208463 Art A1 31. Oktober 2019

Anmelder: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019208463
Aktenzeichen
EP19793887
Anmeldetag
22. April 2019
Veröffentlichung
31. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34B22F1/00B22F3/10C22C1/04C22C1/05C22C5/04C22C19/07C22C30/00C22C30/02C22C33/02C22C38/00G11B5/851
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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