Multi-spot analysis system with multiple optical probes
WO2019209550
Art A1
31. Oktober 2019
Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019209550
- Aktenzeichen
- EP19792493
- Anmeldetag
- 12. April 2019
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/47G01N21/41
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-TENCOR CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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