Production method for ozone water
WO2019212037
Art A1
7. November 2019
Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019212037
- Aktenzeichen
- EP19796251
- Anmeldetag
- 26. April 2019
- Veröffentlichung
- 7. November 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304B01F1/00B01F3/04B01F5/06C02F1/68G03F7/42H01L21/027C11D7/18C11D7/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOHOKU UNIVERSITY
NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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