Production method for ozone water

WO2019212037 Art A1 7. November 2019

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019212037
Aktenzeichen
EP19796251
Anmeldetag
26. April 2019
Veröffentlichung
7. November 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B01F1/00B01F3/04B01F5/06C02F1/68G03F7/42H01L21/027C11D7/18C11D7/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOHOKU UNIVERSITY
NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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