Substrate Tilt Control in High Speed Rotary Sorter

WO2019212651 Art A1 7. November 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019212651
Aktenzeichen: EP19795915
Anmeldetag: 19. März 2019
Veröffentlichung: 7. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/687H01L21/66H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von