Prüfvorrichtung und Verfahren zum Prüfen der Oberflächenform eines Optischen Elements

WO2019214892 Art A1 14. November 2019

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019214892
Aktenzeichen: EP19720408
Anmeldetag: 10. April 2019
Veröffentlichung: 14. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B9/021G01B11/24G03F7/20G01M11/00G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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