Substrate transport robot, and method for detecting shifting of optical axis of substrate-holding hand

WO2019216401 Art A1 14. November 2019

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019216401
Aktenzeichen: EP19799393
Anmeldetag: 10. Mai 2019
Veröffentlichung: 14. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B25J19/04B25J13/08H01L21/677H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von