Ultrathin silicon substrate and manufacturing method therefor

WO2019216506 Art A1 14. November 2019

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019216506
Aktenzeichen: EP18918267
Anmeldetag: 31. Oktober 2018
Veröffentlichung: 14. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/02H01L21/02H01L21/324H01L21/18H01L31/036H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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