Illumination source for an inspection apparatus, inspection apparatus and inspection method

WO2019219336 Art A1 21. November 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019219336
Aktenzeichen: EP19718398
Anmeldetag: 23. April 2019
Veröffentlichung: 21. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/09G01N21/95G01N21/956G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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