High stability collimator assembly, lithographic apparatus, and method

WO2019219389 Art A1 21. November 2019

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019219389
Aktenzeichen: EP19724107
Anmeldetag: 2. Mai 2019
Veröffentlichung: 21. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G02B6/42G02B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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