Method for manufacturing an etch stop layer and mems sensor comprising an etch stop layer

WO2019219479 Art A1 21. November 2019

Anmelder: AMS AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019219479
Aktenzeichen
EP19721636
Anmeldetag
8. Mai 2019
Veröffentlichung
21. November 2019
Rechtsraum
WO
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
AMS AG
Land
🇦🇹 Österreich
🇩🇪 ams OSRAM

ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.

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