Cleaning agent, cleaning agent production method, and target object processing method

WO2019220711 Art A1 21. November 2019

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019220711
Aktenzeichen: EP19803957
Anmeldetag: 13. Februar 2019
Veröffentlichung: 21. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C11D1/62B08B3/08C11D1/72C11D7/50H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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