Ingot cutting method and wire saw

WO2019220820 Art A1 21. November 2019

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019220820
Aktenzeichen
EP19802815
Anmeldetag
10. April 2019
Veröffentlichung
21. November 2019
Rechtsraum
WO
IPC
B24B27/06B24B57/02B28D5/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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