Holographic grating lithography system, and adjustment method for self-collimating interference optical path thereof

WO2019222909 Art A1 28. November 2019

Anmelder: SOOCHOW UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019222909
Aktenzeichen: EP18919638
Anmeldetag: 22. Mai 2018
Veröffentlichung: 28. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/18G02B5/32G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SOOCHOW UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Soochow University

Soochow University ist eine staatliche Universität in Suzhou, China, mit breitem Fächerspektrum einschließlich Materialwissenschaft und Chemie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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