Flexible nanoimprint template and manufacturing method therefor

WO2019223109 Art A1 28. November 2019

Anmelder: SOUTHERN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019223109
Aktenzeichen
EP18919826
Anmeldetag
1. August 2018
Veröffentlichung
28. November 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOUTHERN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Southern University of Science and Technology

Die Southern University of Science and Technology ist eine staatliche Universität in Shenzhen, China. Ihr Patentportfolio verteilt sich breit über Software, Halbleitertechnik, Messtechnik, Medizintechnik und organische Chemie und spiegelt ein multidisziplinäres Forschungsprofil wider. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2015 bis 2025.

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