Apparatus for transportation of a carrier, processing system for vertically processing a substrate, and a method of switching a transport path of a carrier

WO2019223871 Art A1 28. November 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019223871
Aktenzeichen: EP18728078
Anmeldetag: 24. Mai 2018
Veröffentlichung: 28. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50B65G49/07C23C14/56H01J37/32H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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