Bandwidth calculation system and method for determining a desired wavelength bandwidth for a measurement beam in a mark detection system

WO2019223976 Art A1 28. November 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019223976
Aktenzeichen: EP19724106
Anmeldetag: 2. Mai 2019
Veröffentlichung: 28. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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