Apparatus for and method of in situ clamp surface roughening

WO2019224040 Art A1 28. November 2019

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019224040
Aktenzeichen: EP19725303
Anmeldetag: 14. Mai 2019
Veröffentlichung: 28. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/68H01L21/683B24B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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