Pellicle frame, photomask, and method for manufacturing pellicle frame

WO2019225503 Art A1 28. November 2019

Anmelder: NGK SPARK PLUG CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019225503
Aktenzeichen: EP19808425
Anmeldetag: 17. Mai 2019
Veröffentlichung: 28. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/64B24B7/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK SPARK PLUG CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Spark Plug

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Nagoya, traditionell bekannt für Zündkerzen und Sensoren für die Automobilindustrie sowie Keramikbauteile. Firmiert seit 2023 international unter dem Namen Niterra.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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