Single process volume to perform high-pressure and low-pressure processes with features to reduce cross-contamination

WO2019226278 Art A1 28. November 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019226278
Aktenzeichen: EP19806726
Anmeldetag: 26. April 2019
Veröffentlichung: 28. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/458C23C16/455C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von