Target selection improvements for better design alignment
WO2019226322
Art A1
28. November 2019
Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019226322
- Aktenzeichen
- EP19806592
- Anmeldetag
- 7. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 28. November 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66H01L21/67H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-TENCOR CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
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