Electron beam apparatus, inspection tool and inspection method

WO2019228922 Art A1 5. Dezember 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019228922
Aktenzeichen: EP19725373
Anmeldetag: 24. Mai 2019
Veröffentlichung: 5. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/28H01J37/12H01J37/147H01J37/073

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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