Computer-Generiertes Hologramm (cgh), sowie Verfahren zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements

WO2019233685 Art A1 12. Dezember 2019

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019233685
Aktenzeichen: EP19725040
Anmeldetag: 6. Mai 2019
Veröffentlichung: 12. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B9/02G01M11/00G01M11/02G01B11/24G03H1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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