Freeze vacuum drying device and freeze vacuum drying method

WO2019235036 Art A1 12. Dezember 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019235036
Aktenzeichen
EP19815344
Anmeldetag
28. März 2019
Veröffentlichung
12. Dezember 2019
Rechtsraum
WO
IPC
F26B5/06F26B3/28F26B3/347A23L3/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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