Apparatus for lifting off a mask from a substrate, substrate carrier, vacuum processing system, and method of operating an electropermanent magnet assembly

WO2019238244 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019238244
Aktenzeichen: EP18733218
Anmeldetag: 15. Juni 2018
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B05D1/00C23C14/04H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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