Determining significant relationships between parameters describing operation of an apparatus

WO2019238348 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019238348
Aktenzeichen: EP19724483
Anmeldetag: 15. Mai 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05B23/02G06Q10/00G06Q50/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von