Machine learning based inverse optical proximity correction and process model calibration

WO2019238372 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019238372
Aktenzeichen: EP19728335
Anmeldetag: 23. Mai 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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