Vorrichtungen und Verfahren zur Untersuchung Und/oder Bearbeitung eines Elements für die Photolithographie

WO2019238668 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019238668
Aktenzeichen: EP19731641
Anmeldetag: 11. Juni 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/20008G03F1/00G03F1/72H01J37/30H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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