Abdeckplatte zur Abdeckung der zur Prozesskammer Weisenden Seite eines Suszeptors einer Vorrichtung zum Abscheiden von Sic-Schichten

WO2019238930 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: AIXTRON SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019238930
Aktenzeichen: EP19732304
Anmeldetag: 14. Juni 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/458C30B25/12H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIXTRON SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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