Wafer sensor having extended monitoring area and dry process device using same

WO2019240372 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019240372
Aktenzeichen: EP19819248
Anmeldetag: 24. April 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Research Institute of Standards and Science

Der Anmelder ist ein südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut für Metrologie mit Sitz in Daejeon, bekannt als KRISS. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiterbauelemente, Software und Medizintechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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