Gas monitoring system

WO2019240906 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019240906
Aktenzeichen: EP19820483
Anmeldetag: 16. Mai 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/30G01N9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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